半導体製造工場の排ガス回収装置の定期メンテ実施

2010年3月26日(金) 19:30 JST   


半導体製造工場から排出されるフッソ系排気ガスの回収装置は、数ケ月毎に定期的な保全作業が必要であるが、当社は、作業員を半導体製造工場に出張させて定期点検を実施している。 
即ち、工場の装置が動かない休日に、当該装置をストップして冷却したのち、吸着反応した微粉末鉄粉を新品鉄粉に入れ替え、同時に装置のパイプ内部に飛散した微粉末の清掃とオーバホール、部品交換などを実施する。対象事業所は関東地区、関西地区、北陸など全国の数ケ所。